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激光干涉仪
高精度测量定位精度与重复定位精度的首选工具,分辨率可达0.001μm级别
通过激光波长基准检测直线运动偏差,支持全行程动态误差分析
球杆仪
用于检测圆运动精度及反向间隙误差,通过圆形轨迹偏差分析机床几何误差
可实时显示动态性能曲线,适用于快速诊断间隙与伺服匹配问题
步距规
由多段标准长度组成的实物量具,适用于批量生产中的快速定位精度校验
优势:操作便捷、无需恒温环境,适合车间现场使用
千分表
用于残余反向间隙检测及局部精度验证,配合磁力表座固定于机床滑鞍上
测量时需消除振动干扰,适用于低速运动场景的误差复测
成组块规
组合不同尺寸的标准量块,验证机床在各定位点的重复定位精度
需搭配传感器或千分表使用,精度可达0.005mm级
标准刻度尺与光学读数显微镜
经济型替代方案,通过人工读数比对实现精度检测,适用普通精度机床
应用场景 | 推荐工具组合 | 精度要求 |
高精度机床校准 | 激光干涉仪+球杆仪 | 定位精度<0.005mm |
批量生产快速检验 | 步距规+千分表 | 重复定位精度<0.01mm |
数控回转工作台检测 | 标准转台+平行光管 | 分度误差≤±5角秒 |
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